TECHNOLOGY

근적외선의 간섭 현상을 이용한 비파괴 광학 내부 검사 기술

01 OCT란?

잘라내지 않고,
내부를 들여다봅니다.

OCT(광간섭 단층촬영)는 근적외선 광의 간섭 현상을 이용해 대상을 자르거나 손상시키지 않고 내부 구조를 촬영하는 광학 검사 기술입니다. 의료 영상 분야에서 출발한 이 기술은 현재 산업 분야로 확장되어 반도체, 디스플레이, 배터리 등의 품질 검사에 폭넓게 활용되고 있습니다.

빛의 간섭 현상을 이용해 마이크로미터(μm) 단위의 3D 단층 이미지를 생성합니다.

이를 통해 육안이나 기존 검사 방식으로는 확인할 수 없었던 내부 결함, 층간 두께, 접합 상태 등을 절단 없이 정확하게 파악할 수 있습니다.

OCT 센서 헤드가 웨이퍼를 스캔하는 모습
02 촬영에서 분석까지
01

Non-Destructive Capture비파괴 촬영

샘플을 절단하거나 손상시키지 않고 내부를 촬영합니다. 기존의 파괴 검사 방식과 달리 제품 손실이 없어 전수 검사가 가능하며, 생산 라인에 직접 적용할 수 있습니다.

02

3D Internal Reconstruction3D 내부 재구성

표면 아래 숨겨진 내부 구조를 3차원으로 시각화합니다. 다층 구조의 각 레이어를 분리하여 확인할 수 있으며, 깊이 방향의 정밀한 단면 이미지를 실시간으로 제공합니다.

03

AI-Powered AnalysisAI 기반 분석

딥러닝 기반 AI가 촬영된 이미지를 자동으로 분석하여 결함을 검출하고 분류합니다. 사람의 판단에 의존하던 기존 방식 대비 검사 속도와 정확도를 획기적으로 향상시킵니다.

이 기술은 프로이드의 TomoPro Series에 적용되어 있습니다.

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