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OCT 핵심 기술을 바탕으로 다양한 산업에 적용된 검사 · 자동화 장비
반도체 · 전자
TomoPro Series
투명·다층 구조 시료의 3D 내부 형상을 비접촉으로 측정하는 고속 광간섭 단층 계측(OCT) 시스템입니다. 시스템 구성에 따라 독립형 장비 또는 타 장비(로봇 암 등) 헤드 부착형으로 구성할 수 있으며, 센서 헤드·광원 모듈·제어/간섭계 유닛으로 이루어집니다.
- 축방향 분해능 최소 1.9 μm (850 HR)
- 파장 옵션 850 / 1060 / 1310 nm
- 스캔 방식 2축 갈바노미터 스캐너
- 적용 공정 투명·다층 구조 내부 검사
모델별 사양 비교
| 항목 | TomoPro-850 Standard | TomoPro-850 HR | TomoPro-1060 Standard | TomoPro-1310 Standard |
|---|---|---|---|---|
| Center Wavelength | 850 nm | 850 nm | 1060 nm | 1310 nm |
| Bandwidth | 50 nm | 165 nm | 120 nm | 105 nm |
| A-scan Rate | 130 kHz | 130 kHz | 100 kHz | 100 kHz |
| Axial Resolution | 6.4 μm | 1.9 μm | 4.1 μm | 7.2 μm |
| Imaging Depth | 7.4 mm | 1.9 mm | 3.4 mm | 5 mm |
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